（一）真空泵的修正
为避免真空泵运用过程中出现疑问，介绍一下真空泵是如何修正的： 真空泵腐蚀的形状可分为悉数（均匀）腐蚀和部分腐蚀两大类，前者较均匀的发生在真空泵悉数外表，后者仅仅发生在部分，如孔蚀、缝隙腐蚀、晶间腐蚀、应力腐蚀等。选用高分子复合材料对真空泵施行外表有机涂层防腐是当前卓有成效的防腐蚀办法之一，其具有杰出的耐化学功能及优良的力学功能和粘接功能，生产高真空泵，与传统的压力容器焊接修补比较，高真空泵厂，具有施工简洁、成本低、安全功能，修正作用好的特色。
（二）真空泵的结垢与扫除
真空泵在运用过程中，会因为技术用水、 钙镁硬度、PH值、电导率、总碱度、温度等要素发生结垢表象，然后构成如下损害：
1. 增大化学品的耗费和污染负荷；
2. 构成出产事端，削减设备寿数；
3. 增大非方案停机次数，构成出产连续，影响设备的出产功率。停机清洁，增加修理费用和额定的劳作负荷；
4. 增大能耗丢失。传统修正办法有停机化学清洁、停机高压水清洁、增加阻垢剂、人工机械清洁、停机拆开替换等办法，但较为费时吃力，且修正作用并不抱负。对于上述疑问，国外领先的保护办法多运用电子除垢仪处理。相对传统修理办法，德科乐电子除垢仪在操作约束、避免管垢构成、防锈防止细菌等方面更为超卓，一起费用开销更少，不污染环境和水质，在真空泵的保护保护方面有了越来越多的运用。
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，高真空泵安装，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
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