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     分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。

     由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,真空泵站厂,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。



真空泵的特性:

 1.描绘精细.布局巩固.重量轻.易于装置及保护.

 2.空气冷却(气冷式)

 3.值结式驱动,可防止转变皮带及齿轮之松懈或损耗.

 4.含高效率油雾过滤器,不须将气体排出室外.

 5.进气口有逆止阀,真空泵站公司,当泵浦中止时,低压真空泵站,此逆止阀可阻隔泵浦于体系,防止真空油逆流.

 6.低轰动,真空泵站品牌,不需用根底螺拴固定泵浦.

 7.工作声响小.

 8.具气体压载阀,可适用於蒸气之制程.

 9.即在真空度0.5mbar到40mbar之间进入泵浦进口之水蒸气,会从泵浦出气口彻底排出,而不会在泵浦内发作凝聚表象.



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