这避免了可对准确示踪造成限制的常见反冲效应，而电磁马达的定位准确度的大幅下降正是由此引起的。马达。经典微型马达中用来将旋转移动转变为直线移动的机械耦合元件也不再必需。马达批发。压电微型马达固有的稳态自动锁定能力消除了电磁微型马达中的伺服颤振。马达厂。即便是在功率下降的情况下，压电微型马达的定位准确度也可达几纳米。马达报价。
压电器械已成功应用于各种医疗器械领域，包括超声发射器、人工受精、医用纳微泵、微监测、手术器械、兼容MRI环境机器人、微剂量分液、细胞病理学中的细胞穿透和细胞成像、医用材料处理（如装卸系统）、给药器械、三维扫描和应用于眼科学、皮肤病学和整容学的激光束调整。采用板载驱动器的微型压电线性微型马达的速度可达200 mm/秒。
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