1．空气流程
1）空气由进气滤清器滤去尘埃之后，经由吸气阀进入真空泵泵体；与润滑油混合，与油混合的空气经过压缩后通过排气阀进入油分离器进行粗分离，普旭真空泵，再经排气过滤器的精分离，德国普旭真空泵，不含油的空气通过排气嘴排入大气。如空气中含有可凝气体，则打开气镇阀。
气镇阀配有节流阀可部分或全部关闭。
在操作之前真空泵应该关闭进气口运转30分钟，以达到75℃的工作温度。只有在这个工作温度下才能有效地抽除可凝性气体。使用结束后，应该再运转30分钟使泵油中的冷凝物蒸发出去。
Ｃ、排气过滤器
详细内容请参阅后面有关章节说明。
D、气镇阀
真空泵配有气镇阀，普旭真空泵专卖，少量空气通过气镇阀进入真空泵腔内，普旭真空泵型号，连同工艺气体一起被压缩，这样，可防止真空泵腔内工艺气体中可凝气体成分的凝结。
