真空泵连续使用3-4个月以后，即应换油。在湿度较大的环境下使用，应酌情缩短换油期。换下的油可经清洁去湿处理后再用。
换油方法如下:将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下，里其乐，旋下，注油塞和放油塞，放出污油，断续启动电机卜6次，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200-300cc，里其乐真空泵油，断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样，经2~3次重复清洗，放光清洗用All，旋上放Ill塞，从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗孔的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。
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真空泵使用要点
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1.真空泵用于抽洁净气体，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体或者蒸汽、化学品、溶剂及粉末等。如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。这些气体容易使轴承失效。
2.进气温度必须低于50℃，否则在被抽真空室与泵进气口之间必须加冷阱，降温至低于50℃。
3.抽含有水蒸汽的气体时，要打开气镇阀抽气，里其乐真空泵过滤器，被抽气体水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超过此极限，将会缩短气镇阀寿命。
4.真空泵不能在腐蚀性、易燃、易爆气体或蒸汽环境中工作，否则会有爆，炸、火灾等危险。
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