参数名称      | 参数定义 |
真空泵的极限压强 真空泵的抽气速率 真空泵的抽气量 真空泵的起动压强 真空泵的前级压强 真空泵的大前级压强 真空泵的大工作压强 真空泵的压缩比 真空泵的何氏系数 真空泵的抽速系数 真空泵的返流率 水蒸气允许量 大允许水蒸气入口压强 | 泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的低压强。 泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。 真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。 真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。 真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。 真空泵口大前级压强单位是Pa，2x150旋片真空泵，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。 真空泵的大工作压强单位是Pa，它是指对应大抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。 压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。 泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。 泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。 泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。 水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。 大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的高入口压强。 |
东莞市盛飞真空设备有限公司分享油扩散泵的用途
玻璃油扩散泵目前广泛用于试验室的真空设备、长排车和一些生产设备上。由于玻璃系统具有透明、便于观察内部情况，容易检漏、补漏，制做方便，价格便宜，吸放气少且易于除气等优点，因此尽管它容易破碎，玻璃壁易于渗氦，2xz8旋片真空泵，体积不能做得很大因而抽速不能很大，旋片真空泵，但仍在中小抽速范围内大量使用着。
真空冶炼、半导体提纯、特种电真空器件和电光源的排气都要求在10-2~10-5托之间迅速排除大量气体，2x70旋片真空泵，实验室为创造无噪声、无振动的环境需要长时间内停止机械泵的工作，这些都提出了需要极限真空度高、排气量大和前级耐压高的排气设备等特殊要求。
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