真空泵极限压力达不到：首先应该检查气镇阀是否关闭，每天新的普旭真空泵出厂都会检测极限压力，普旭真空泵RA0202D，如果发现有漏气现象，普旭真空泵，应该一一检查进气口、进气管道、阀门、管道等；轴封、油封失效，密封件老化也会造成漏气，普旭真空泵RA0100F，泵腔内磨损、腐蚀使的运转间隙增大；确定油孔无漏油现象时，用手放在排气口上，如果有被吸的感觉，则可能是排气阀失效。
德国BUSCH普旭真空泵RA0025F/RA0040F
8）吸附泵。适合于各种真空电子器件、集成电路、分析仪器、表面仪器以及各种要求清洁无油的真空系统中使用。
9）钛泵（包括溅射离子泵、升华泵）。适用于真空镀膜、大规模集成电路、表面物理和表面化学、热核物理、等离子体物理和超导技术等工作中使用。
10）分子泵。适用于真空镀膜、集成电路、表面物理、表面化学、等离子体物理、光学仪器、热核反应和宇航技术工作中使用。
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