真空泵极限压力达不到：首先应该检查气镇阀是否关闭，每天新的普旭真空泵出厂都会检测极限压力，如果发现有漏气现象，应该一一检查进气口、进气管道、阀门、管道等；轴封、油封失效，密封件老化也会造成漏气，泵腔内磨损、腐蚀使的运转间隙增大；确定油孔无漏油现象时，普旭真空泵RA0100F，用手放在排气口上，如果有被吸的感觉，普旭真空泵RA0250D，则可能是排气阀失效。
1）油封式机械泵。是利用油类密封各运动部件的间隙，减少有害空间的一种旋转式变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故称气镇式真空泵。按其结构特点分为：旋片泵、定片泵、滑阀泵、余摆线泵以及多室旋片泵等。如：BUSCH普旭真空泵
2）无油真空泵。目前所谓的干式真空泵。一般通用的说法是：能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作的真空泵，在泵的抽气流道（如泵腔）中，不能使用任何油类和密封液体，普旭真空泵，排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵，普旭真空泵RA0063F，即称为干式真空泵。按其工作原理分，也有容积式干式泵，如多级罗茨泵、多级活塞泵、爪式泵、螺杆泵、涡旋泵等；此外还有动量传输式干式泵，如涡轮干式泵、离心干式泵等。这种泵的抽气不再有油的污染了，是进气开发研制较多的泵种。
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