分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，维修真空泵品牌，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
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对于一般的扩散泵，维修真空泵公司，泵体多做成直筒型;对于大型泵，也有用锥筒形或凸腔形泵体。由于圆筒形泵体便于加工，所以目前应用较多。泵口直径D<250mm的泵体用无缝钢管做成；大泵的泵体用4~10mm厚的钢板卷成圆筒焊接而成，维修真空泵厂家，焊缝不能漏气。泵内壁应抛光镀镍。
凸腔泵体可以在不增加泵口尺寸的情况下，使抽速得到较大的提高。凸腔泵体是将直筒形泵体改变成局部鼓形凸腔泵体。加工方法仍是用钢板焊接而成。泵的底部截面与泵法兰入口直径仍相同，只是泵体在入口法兰的下部扩大泵腔，扩大的直径延伸都第2级喷嘴射流直射到的泵壁处。由于泵体凸腔，扩大了抽气作用空间，增大了二级喷嘴间通导能力，也就提高了抽速。
超高真空泵油也是很重要的问题。不适当的泵壁表面温度，airtech维修真空泵，使碰撞在扩散泵内表面的油蒸气分子不易凝聚，沿泵壁向下流的油层表面温度比泵壁温度高的较多，易于产生再蒸发，形成油蒸气返流。所以泵壁冷却效率要高。一般在泵壁外面焊上螺旋形铜管或做成水套形式（也可在水套中间装上螺旋形钢丝）。泵冷却部位通常只限于蒸气流能喷射到的区域，这样可以使从上面冷凝下来的油在回到油锅前受到较高的热度，使溶解在油中的气体放出，避免它再混入油蒸气中进入各级喷嘴，影响泵的真空度。
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