真空泵选型最重要也是最基本的几点:
①真空泵的产品名称与型号
②真空泵的真空度要求单位PA或MPA
③真空泵的真空度要求单位PA或MPA
④真空泵抽速要求单位L/S或M3/MIN
⑤真空泵的使用与否和工作条件
⑥真空泵的电机功率(KW)
⑦真空泵的转速(r/min)
⑧真空泵的电压〔V〕
⑨真空泵的进出口口径
⑩真空泵是否带附件
真空泵在其工作压力下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,爱发科真空泵油,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,爱发科真空泵配件,但不能抽氦,爱发科真空泵维护,而三极型溅射离子泵,爱发科真空泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。
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